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总部代理！日本MIYUKI美幸辉真空泄压阀
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R-N16 VR-N16
一、产品介绍
VR-N16是日本MIYUKI（美幸辉）推出的一款真空泄压阀。该产品将机械式超压泄放与气动真空破坏两大功能集成于一体。它能在真空系统排气时，一旦压力超过大气压便自动泄压，防止腔体过压。
该产品与仅具备单一泄压功能的R-N16同系列，但在其基础上增设了单动常闭（N.C.）气动通气结构。这一设计使其在实现电控破真空的同时，还能进行超压自动泄放。用户可通过顶部的旋钮，在0.115至0.170 MPa（绝对压力） 的范围内现场调节起跳压力。其连接法兰为NW16（KF16） 卡箍快拆式，便于安装。
二、主要技术参数
参数项目规格
产品型号VR-N16
阀门类型真空泄压阀（机械泄压 + 气动破空）
连接法兰NW16 (KF16) 快拆法兰
泄压/破空接口Rc1/8 内螺纹
泄压起跳压力0.115 ～ 0.170 MPa（绝对压力），顶部旋钮可调
工作压力范围0.2 MPa ～ 10⁻⁵ Pa（绝对压力）
泄漏量≤1×10⁻⁸ Pa・m³/s
阀体材质铝合金
阀体/轴密封氟橡胶O型圈（FKM）
使用温度上限70°C
气动驱动方式单动常闭型（N.C.），断气弹簧复位关闭
所需气压0.4 ～ 0.6 MPaG
压缩空气供气口M5
整机质量0.4 kg
三、总结
VR-N16的核心优势在于高度集成。它将“电控破空"与“超压泄放"合二为一，省去了外置真空破坏阀，简化了管路布局。其机械泄压模块在断电、断气状态下依然能独立工作，提供了可靠的安全兜底机制。该产品无安装方向限制，重量仅0.4kg，广泛适用于光学镀膜、半导体实验室、小型PVD设备等对空间和安全性有要求的精密真空场景。
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