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Photonic‑Lattice二维双折射应力测量仪
Photonic‑Lattice二维双折射应力测量仪
PA-300，PA-300-L，PA-300-XL
PA-300 是日本 Photonic-Lattice 推出的二维双折射/应力评价系统，属于 PA 系列中的低位相差专用型号。与 WPA-200 主打宽量程不同，PA-300 聚焦 0~130nm 低相位差区间，以 500 万像素实现玻璃、镜片、SiC 晶圆等低应力样品的精密检测。
参数项规格说明
输出项目相位差（nm）、轴方位（°）
测量范围0 ~ 130 nm
测量波长520 nm（单波长）
像素数2056 × 2464（约 500 万）
最小分辨率0.001 nm
测量视野约 30×36 ~ 100×133 mm
测量时间最快约 3 秒
尺寸 / 质量430×487×最大977 mm / 约 12 kg
总结
PA-300 的核心优势在于 500 万像素的高空间分辨率与 0.001nm 的最小分辨率，能捕捉低应力样品中极其细微的相位差分布。光子晶体偏光阵列无机械旋转部件，单次拍摄即可完成全域测量，最快 3 秒出结果。特别适合 SiC 晶圆内部缺陷检测及光学镜片品质管理。选型时需注意：PA-300 为单波长 520nm、量程上限 130nm，仅适合低位相差样品；若需宽量程或三波长测量，应选择 WPA-200 系列。
中崎目前已获得NPM脉冲、CCS晰写速、SEN日森、EYE岩崎、USHIO牛尾、NIPPON GEAR日本齿轮、KAKUHUNTER写真化学、FUNATECH船越龙、HIKARIYA光屋、SERIC索莱克斯、REVOX莱宝克斯、NITTO KOHKI日东工器、ATAGO爱拓、SONIC索尼克、SIGMA西格玛、SUGIYAMA杉山电机、HAYASHI林时计、ORIHARA折原、YUASA尤安萨、EYELA东京理化、SANKO三高、NEWKON新光、HEIDON新东科学、SIBATA柴田科学、HORIBA堀场、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三丰、JIKCO吉高、AND爱安德、ONOSOKKI小野、PISCO碧士克、TOPCON拓普康、NDK电波工业、STANLEY史丹利、HIOS好握速、SATA世达、HAKKO白光、TOHNICHI东日等多家品牌认证。
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