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日本Photonic‑Lattice双折射测量显微镜
日本Photonic‑Lattice双折射测量显微镜
PA-micro，PA-micro-S
PA-micro 是日本 Photonic-Lattice 推出的显微镜型二维双折射/残余应力测量系统。与 PA-300 的台式宏观定位不同，它将光子晶体偏光传感器与奥林巴斯或尼康显微镜结合，把应力测量下沉至微米尺度，适合 TGV 玻璃通孔、芯片边缘、微小光学元件等微区应力分析。
参数项规格说明
输出项目相位差（nm）、轴方位（°），应力换算（选配）
测量范围0 ~ 130 nm
测量波长520 nm（单波长）
像素数2056 × 2464（约 500 万）
最小分辨率0.001 nm
重复精度相位差 σ < 0.1 nm
视野范围约 142×170 μm ~ 3.5×4.2 mm（×2 ~ ×50 物镜）
尺寸 / 质量270×500×610 mm / 约 18 kg
软件PA-View
总结
PA-micro 的核心优势在于 500 万像素高分辨率与显微镜微区测量的结合。快照式全视场成像无需逐点扫描，数秒内输出相位差与光轴角度分布云图，适合 TGV 玻璃通孔侧壁应力、芯片切割边缘、微透镜阵列等微观低应力样品的定量分析。选型时需注意：该机型为单波长 520nm、量程上限 130nm，仅适合低位相差样品；若需宽量程或反射测量，应选择 WPA-micro 系列。另有 PA-micro-S 版本，仅含测量机头，可对接用户已有兼容显微镜。
中崎目前已获得NPM脉冲、CCS晰写速、SEN日森、EYE岩崎、USHIO牛尾、NIPPON GEAR日本齿轮、KAKUHUNTER写真化学、FUNATECH船越龙、HIKARIYA光屋、SERIC索莱克斯、REVOX莱宝克斯、NITTO KOHKI日东工器、ATAGO爱拓、SONIC索尼克、SIGMA西格玛、SUGIYAMA杉山电机、HAYASHI林时计、ORIHARA折原、YUASA尤安萨、EYELA东京理化、SANKO三高、NEWKON新光、HEIDON新东科学、SIBATA柴田科学、HORIBA堀场、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三丰、JIKCO吉高、AND爱安德、ONOSOKKI小野、PISCO碧士克、TOPCON拓普康、NDK电波工业、STANLEY史丹利、HIOS好握速、SATA世达、HAKKO白光、TOHNICHI东日等多家品牌认证。
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