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Products总经销!日本PURERON气体过滤器 低压损失PTFE在线气体过滤器 高过滤性能:过滤膜采用PTFE双层结构,经年累月或振动等影响下几乎无拉伸变形,具有稳定的过滤性能。
总经销!日本PURERON排气过滤器 在半导体制造装置中使用的负载锁定室(Loadlockchamber)和输送室(Transferchamber)等中,在进行真空破坏时产生的粒子卷起或过渡性紊流的发生,有可能导致粒子附着到芯片上或损坏。以往,通过采用缓慢导入氮气的慢通风来防止这一现象,但通过使用普锐龙日本的通风用过滤器,不需要该慢通风,从而大幅提高吞吐量。
日本进口PURERON带垫圈气体滤芯 带垫圈的气体过滤器(混合型滤芯)垫圈式气体过滤器(混合型滤芯) 节省空间设计提供盘式和锥形两种类型,可作为管道表面密封接头处的垫片单独安装。
日本PURERON高精度金属气体过滤器 高精度全金属气体滤清器过滤器 所有材质均采用SUS316L不锈钢。 高精度:所有产品出厂前均进行内部特殊清洗,并在通入高纯氮气的同时进行高温烘烤处理。 在高流量、高压差条件下,也能高效去除0.003μm/0.0015μm以上的颗粒。 高耐热性460℃ 我们提供从约10升/分钟的低流量到约250升/分钟的中流量的广泛产品系列。低压损:与传统金属过滤
日本PURERON低压损失金属气体过滤器 低压损失金属气体过滤器 滤芯所有构成部件均采用SUS316L,无腐蚀或二次生成物风险,发挥高耐热性能。 当氮气(Ne)在过滤器进气侧压力为0.2MPa时,出气侧压降为0.05MPa,可实现90SLM的流量。 在恒定流与脉动条件下,通过CNC确认过滤精度为0.003μm/0.0015μm,采用超微米ULSI制造工艺实现显著提升的良率。
日本进口PURERON陶瓷气体过滤器 在亚微米LSI制造工艺中,原料气体以高纯度的状态供给到使用点是的。为此,原料气 体的高纯度化,配管系统的超清洁化也是一大亮点。Purelon日本为了满足这样的时代要求,开发了在元件部使用陶瓷的全新过滤器。其结果,在稳定的状态下,实现了0.003μm的高过滤精度。
日本PURERON高精度陶瓷气体过滤器 在亚微米LSI制造工艺中,原料气体以高纯度供给至使用点是的。为此,原料气体的高纯度化,配管系统的超洁净化也是一大亮点。Purelon日本为了满足这样的时代要求,开发了在元件部使用陶瓷的全新过滤器。其结果,在始终稳定的状态下,实现了0.003μm/0.0015μm的高过滤精度。
日本进口PURERON陶瓷气体过滤器 低庄力損失:当以10L/min的氮气在过滤器进侧压力为0.1MPa的情况下,出侧压力损失仅为0.01MPa,实现了极低的压力。 高滤过精度:具有0.01μm颗粒去除能力,有助于在亚微米级ULSI制造中大幅提升良率。
日本PURERON紧凑型陶瓷燃气过滤器 SPC系列设计为超小型(直径21X84mm)、轻量(90克),因此非常适合安装空间狭窄的气缸或柜设备等。
日本PURERON防腐蚀陶瓷气体过滤器 过滤器一个构成部件使用过滤器外壳使用钢筋,过滤器一个元件使用陶瓷。所有这些部件都对HBr、HCI等卤素类反应性腐蚀性特殊气体具有的耐腐蚀性,发挥的性能。