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日本MIYUKI美幸辉伺服电机驱动真空控制蝶阀
日本MIYUKI美幸辉伺服电机驱动真空控制蝶阀
BAR-J25B，BAR-I50B，BAR-N100B，BAR-C200B，
一、产品介绍
BAR-N100B是日本MIYUKI（美幸辉）BAR系列中的一款伺服电机驱动真空控制蝶阀。该阀采用伺服电机直驱阀板，取消齿轮传动机构，实现无背隙的0～90°连续无级开度调节。通过改变流导控制腔体压力，需搭配MIYUKI专用压力控制器（如MGCS-11、MS-VP）使用，以构成完整的闭环控制系统。阀体内部无金属滑动部件，颗粒排放低；开闭及控制动作噪音极低；即使在小开度下也能实现压力稳定。停电时阀门停止工作（无保持力）。
二、主要技术参数
参数项目规格
产品型号BAR-N100B
阀门类型伺服电机驱动真空控制蝶阀
口径范围25A～250A
工作压力范围10⁵ Pa ～ 10⁻⁵ Pa
内部泄漏量（阀门）≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s
外部泄漏量（轴）≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s
气体接触材料SUS304
阀门密封氟橡胶O型圈
轴封氟橡胶O型圈
本体耐热温度150°C
电机耐热温度40°C
停电时阀门状态停止工作（无保持力）
适用控制器MGCS-11 / MS-VP 等
三、总结
BAR-N100B凭借伺服直驱、无背隙、低颗粒和超低泄漏设计，为半导体、光学镀膜等真空工艺提供了可靠的压力调节方案。其宽泛的口径与压力适用范围（25A～250A / 10⁵～10⁻⁵ Pa），搭配MIYUKI专用控制器，可满足从科研实验到量产设备的多样化精密真空控制需求。
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