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日本MIYUKI美幸辉伺服电机驱动真空控制蝶阀
日本MIYUKI美幸辉伺服电机驱动真空控制蝶阀
GAR-J50B，GAR-I65B，GAR-N80B，GAR-C150B，
一、产品介绍
GAR-I65B是日本MIYUKI（美幸辉）GAR系列中的一款伺服电机驱动真空控制蝶阀。该阀采用闸阀式结构设计，兼具优异的排气特性和断电全闭密封能力。伺服直驱系统实现无背隙的0～90°连续无级开度调节，配合专用控制器（如MGCS-11、MS-VP）可构成高精度闭环压力控制系统，广泛应用于半导体刻蚀、CVD、PVD及光学镀膜等真空工艺。其低颗粒、低噪音设计适合洁净环境，停电时阀门自动全闭（无保持力），有效防止大气倒灌。
二、主要技术参数
参数项目规格
产品型号GAR-I65B
阀门类型伺服电机驱动真空控制蝶阀（闸阀式）
口径范围25A～250A
工作压力范围10⁵ Pa ～ 10⁻⁵ Pa
内部泄漏量（阀门）≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s
外部泄漏量（轴）≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s
气体接触材料SUS304
密封材质（阀/轴）氟橡胶O型圈
本体耐热温度150°C
电机耐热温度40°C
停电时阀门状态停止工作（无保持力），全闭密封
适用控制器MGCS-11 / MG-mini485 / MS-VP
三、总结
GAR-I65B将闸阀的密封性与蝶阀的调节灵活性相结合，断电自动全闭保护功能尤为突出，为关键真空制程提供了可靠的安全屏障。其宽泛的压力与口径适用范围、低颗粒排放及优良排气特性，搭配MIYUKI专用控制器，可满足精密工业领域对高精度、高稳定性压力控制的严苛要求，是半导体及镀膜工艺的理想选择。
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