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日本MIYUKI美幸辉气动L型高真空角阀
日本MIYUKI美幸辉气动L型高真空角阀
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一、产品介绍
AB-N25是日本MIYUKI(美幸辉)AB系列的一款气动L型高真空角阀。该阀采用全金属波纹管轴封,以SUS316L多层焊接波纹管隔离阀杆,消除O型圈往复摩擦产生的颗粒物与有机挥发物,实现密封。阀体为90°L型角式流道设计,气流阻力小、通导大,结构紧凑,尤其适合真空腔体侧壁直接安装。标配单作用弹簧常闭型气动执行器,通气开启、断气自动闭合,气源中断时可有效防止大气倒灌。
二、主要技术参数
参数项目规格
产品型号AB-N25
阀门类型气动L型真空角阀(波纹管密封)
公称口径25A(25mm)
法兰规格NW25(KF25)ISO-KF快拆法兰
驱动方式气动驱动 / 单作用常闭型(弹簧复位)
工作气压0.4 ~ 0.6 MPaG
适用压力范围10⁵ Pa ~ 10⁻⁶ Pa
泄漏量≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s
阀体材质SUS304不锈钢
轴封材质SUS316L焊接波纹管
阀体密封氟橡胶O型圈(FKM)
本体耐热温度150°C 以下
启闭寿命≥50万次
选配功能磁性感应开关(阀位信号输出)
三、总结
AB-N25的核心优势在于全金属波纹管轴封带来的零颗粒、密封性能,特别适合半导体、光学镀膜等对洁净度要求的真空工艺。L型角式流道设计使其可直接安装于腔体侧壁,节省管路空间。单作用常闭型气动驱动在断气时自动关闭,提供可靠的安全保障。该产品广泛适用于分子泵入口阀、腔体主抽阀、真空计支路阀等场景,是洁净高真空系统的理想隔断元件。

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