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日本MIYUKI美幸辉L型电磁驱动真空角阀
日本MIYUKI美幸辉L型电磁驱动真空角阀
PER-N40
一、产品介绍
PER-N25是日本MIYUKI（美幸辉）PER系列的一款L型电磁驱动真空角阀。该产品专为油式旋片真空泵配套设计，核心作用是防止泵停机时真空泵油倒灌污染真空腔体。阀体采用SUS304不锈钢与铝合金组合结构，密封系统使用氟橡胶O型圈实现双重密封保障。产品内置自动泄漏阀功能与内部延时机构，泵停机时自动将泵内恢复至大气压，同时确保被排气侧维持真空。
二、主要技术参数
参数项目规格
产品型号PER-N25
产品系列PER系列 / 电磁驱动阀
阀门类型L型电磁驱动真空角阀
公称口径25A（系列另有40A规格）
法兰规格NW（KF）快拆卡箍法兰
驱动方式开启：真空/大气压差压驱动；关闭：弹簧复位
驱动电压AC100V、AC200V、DC24V 可选
适用压力范围10⁵ Pa ～ 10⁻¹ Pa
开放导流能力13 L/s
泄漏量≤1×10⁻⁸ Pa・m³/s
气体接触材料SUS304、铝合金
阀体/轴密封氟橡胶O型圈（FKM）
最大功耗AC100V/AC200V：6W；DC24V：11W
整机质量1.3 kg
三、总结
PER-N25的核心优势在于纯电磁驱动、无需气源，仅需与油旋片泵电源同步即可工作。其内置自动泄漏阀与延时机构形成双重保护：泵停机时先向泵侧通入大气防止负压吸油，同时腔体侧全程保持真空不泄压。L型紧凑结构节省安装空间，KF快装法兰便于拆装维护。该产品广泛适用于半导体制造、精密仪器镀膜、实验室真空设备等无压缩气源的小型真空系统场景。
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