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Products日本PURERON低压损失金属气体过滤器 低压损失金属气体过滤器 滤芯所有构成部件均采用SUS316L,无腐蚀或二次生成物风险,发挥高耐热性能。 当氮气(Ne)在过滤器进气侧压力为0.2MPa时,出气侧压降为0.05MPa,可实现90SLM的流量。 在恒定流与脉动条件下,通过CNC确认过滤精度为0.003μm/0.0015μm,采用超微米ULSI制造工艺实现显著提升的良率。
日本进口PURERON陶瓷气体过滤器 在亚微米LSI制造工艺中,原料气体以高纯度的状态供给到使用点是的。为此,原料气 体的高纯度化,配管系统的超清洁化也是一大亮点。Purelon日本为了满足这样的时代要求,开发了在元件部使用陶瓷的全新过滤器。其结果,在稳定的状态下,实现了0.003μm的高过滤精度。
日本PURERON高精度陶瓷气体过滤器 在亚微米LSI制造工艺中,原料气体以高纯度供给至使用点是的。为此,原料气体的高纯度化,配管系统的超洁净化也是一大亮点。Purelon日本为了满足这样的时代要求,开发了在元件部使用陶瓷的全新过滤器。其结果,在始终稳定的状态下,实现了0.003μm/0.0015μm的高过滤精度。
日本进口PURERON陶瓷气体过滤器 低庄力損失:当以10L/min的氮气在过滤器进侧压力为0.1MPa的情况下,出侧压力损失仅为0.01MPa,实现了极低的压力。 高滤过精度:具有0.01μm颗粒去除能力,有助于在亚微米级ULSI制造中大幅提升良率。
日本PURERON紧凑型陶瓷燃气过滤器 SPC系列设计为超小型(直径21X84mm)、轻量(90克),因此非常适合安装空间狭窄的气缸或柜设备等。
日本PURERON防腐蚀陶瓷气体过滤器 过滤器一个构成部件使用过滤器外壳使用钢筋,过滤器一个元件使用陶瓷。所有这些部件都对HBr、HCI等卤素类反应性腐蚀性特殊气体具有的耐腐蚀性,发挥的性能。
中国总经销!日本PURERON压力传感器 包含线性度、迟滞和重复性在内的综合精度在士0.25%以下,可实现高精度压力检测。(压力范围100G以上)
总经销!日本PURERON气体过滤器 各种集成化气体面板用气体过滤器中,高过滤精度和耐蚀性的陶瓷过滤器和全金属过滤器阵容