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Products日本EBARA荏原滚珠轴承型涡轮分子泵 ●脂润滑滚珠轴承; ●产品系列覆盖70~2,400L/s不同抽速区间; ●小型、轻量、低功耗; ●可选择集成控制器型(仅支持EBT70型、EBT240型);
中崎有卖EBARA荏原涡轮分子泵 ●EMT型(磁悬浮轴承型) ●磁悬浮轴承; ●产品系列覆盖340~4,200L/s不同抽速区间; ●控制器集成一体化;
EBARA荏原干式真空泵进口干泵 EV-PA 型是以小型、轻量、节能为特点的清洁用途风冷干式真空泵。 这款新一代干式真空泵有着即插即用的便携性,并且采用了非接触式密封设
中崎EBARA荏原干式真空泵日本进口干泵 EV-A10 型是无需冷却水、安装方便的小型风冷 在接近大气压环境下的抽气速率优异,是反复进行空气抽吸用途的。
EBARA荏原干式真空泵小型风冷干泵 EV-SA 型是无需冷却水、安装方便的小型风冷干式真空泵。 以节能低噪为特点,适合各种分析机器、电子显微镜等清洁抽气用途。
日本EBARA荏原干式真空泵进口泵 ESA型在LCD溅镀、真空干燥、大型load-lock等需要高速抽气的场景表现出 色。具备流量自适应转速调整、通信功能等额外功能。
日本EBARA荏原干式真空泵螺杆型转子干泵 EST型采用螺杆型转子,可应对CVD等工艺副产物的生成,并具备大流量抽气、 耐腐蚀性、抽气速率可变、通信功能等额外功能。
日本EBARA荏原干式真空泵干泵 EV-M 型可应用于在半导体、液晶和太阳能电池制造工艺中有副产物生成的重 制程工艺。同时兼顾了对重制程工艺和节能的需求,实现了停机风险的减少和
中崎有卖日本EBARA荏原干式真空泵 EV-S 型 为 独 立 安 装 的 罗 茨 型 干 泵,有 着 从 轻 制 程 工 艺(如:load lock、 SEM)到腐蚀性工艺的广泛应用范围。拥有抽气速率可变、通信功能等丰富附 加功能的同时,实现了“ 低能耗、占地小、轻量化 ”。
日本进口EBARA荏原干式真空泵 这是一款用于中负荷工艺的干式真空泵,配备了荏原的节能技术,并采用了针对自动化工厂制造优化的模块化设计,实现了进一步的小型化和节能。